针对机床圆轨迹测量中目前无法测量小半径圆轨迹的弊端和滚转角测量难题，开展了基于双频激光外差干涉技术的圆轨迹和滚转角测量研究。主要关键技术成果包括：

1）机床主轴的圆轨迹误差测量

圆轨迹测量光路图

机床圆轨迹现场测量图

   圆轨迹测量系统的主要性能指标为：

■  分辨率： <0.1mm

■  精度：< ±1.25mm

■  最高采样率： >250个/秒

2）物体线性定位系统的高精度测量

四倍光学细分光路图

   线性定位测量系统的主要性能指标为：

■  分辨率： <0.1mm

■  精度：< ±1.25mm

3）实现滚转角误差高精度测量

滚转角测量系统光路图

滚转角测量系统实物图

   滚转角测量系统的主要性能指标为：

■  测量角分辨率： <0.02″

■  角测量精度： <1″